SOI видове материали

Понастоящем най-широко използваните и обещаващи материали за SOI са материали SIMOX (разделяне чрез имплантиран кислород), материали BESOI (слепване-ецване SOI) със свързване на силициеви пластини и обратно ецване и материали Smart Cut SOI, които комбинират свързване и инжектиране. Сред тези три материала SIMOX е подходящ за изработване на тънкослойни напълно изчерпани ултра-големи интегрални схеми, материалите BESOI са подходящи за изработване на частично изчерпани интегрални схеми, а материалите Smart Cut са многообещаващи SOI материали, които вероятно ще станат основния поток от SOI материали в бъдеще.
Обхват на приложение
В допълнение към своите уникални предимства, той се използва в интегрални схеми и също така се използва в производството на микро-опто-електромеханични MEMS системи, като 3D превключватели с огледални масиви. Огледалото се образува чрез формиране на подвижно огледало в активния слой на SOI субстрата и свързването му към субстрата на друг електрод с форма на стъпка. Тъй като се използва монокристален силициев субстрат и отразяващ филм се формира симетрично върху горната и долната повърхност на подвижното огледало с диаметър 500 микрона при същите условия, той има деформация от 10 нанометра и грапавост на повърхността от десетки нанометри.